正航儀器整理立式渦輪分子泵
其轉子軸垂直安裝，只有一組抽氣組合葉列。轉子葉輪高速旋轉時，被抽氣體沿著轉子組和定子組自高真空端向低真空端壓縮，被驅向前級，由前級泵抽走。 泵由泵殼、渦輪葉列組件和電動機等組成。現代渦輪分子泵轉子和定子之間的間隙較大，通常在 lmm 左右，因此泵工作時很安全。立式泵的裝配工藝要比臥式泵簡單，所以立式泵發(fā)展很快。
軸承潤滑方式有油脂潤滑、油繩潤滑和離心供油潤滑等方式。分子泵軸承潤滑油的性能必須具備以下三個條件，才能滿足泵的工作要求： a. 高速下具備良好的潤滑性能； b. 飽和蒸氣壓低于前級泵工作液的飽和蒸氣壓． c. 粘度適當，使之兼有軸承冷卻液的作用。
1. 泵工作時振動的產生及其減振措施保證分子泵工作精度的最主要問題是盡量減少泵工作時的振動。組成分子泵的零部件以及安放它的基礎，都可以認為是一個彈性系統(tǒng)。當分子泵高速運轉工作時，泵在其平衡位置作往復性機械運動，即是分子泵的振動。
分子泵的振動，主要是其振動零部件的不平衡引起的，主要因素有：
(1) 渦輪轉子以及電動機主軸的不平衡是產生振動的主要來源。從渦輪轉子的結構看，影響其平衡的原因有： 1) 轉子的材質不均 ( 包括密度不均和膨脹系數的不均 ) ； 2) 渦輪轉子的各組成零件在制造中的加工誤差，如同軸度、轉子端面的平行度、轉子體的不對稱性等等； 3) 轉子的裝配質量。如渦輪轉子上下葉輪因裝配不當產生偏差；渦輪轉子在電動機軸上裝得不正；或裝配時壓緊力不足，高速運轉后產生松動等。以上諸因素會造成渦 輪轉子的質量分布不均，形成一定的質量偏心，當轉子轉動時產生不平衡的離心力，從而使分子泵產生有害的振動和噪音。
(2) 由于渦輪分子泵的轉速很高，因此防止產生共振也是一個重要問題。在分子泵的設計中應正確地選用工作轉速和合理地設計電動機的主軸。
(3) 主軸的支承條件，如軸承的精度、安裝方式、潤滑條件等對分子泵的振動也將產生較大的影響。
為了減少分子泵整機工作時的振動，在泵的設計制造中應采取以下措施：
(1) 在工藝條件允許的情況下，盡可能提高零部件的加工精度。
(2) 對電動機主軸及渦輪轉子等旋轉零部件進行嚴格的動平衡試驗。
(3) 為了防止產生共振，確保泵安全運轉，泵設計時，應使主軸的工作轉速 n 在其各階臨界轉速之外。在軸的初步設計時，應對其臨界轉速進行驗算，至少使其與工作轉速相差 20 ％左右，否則應改變軸的尺寸或剛性來達到上述要求。
(4) 對主軸軸承的外側設置橡膠減振環(huán)。橡膠減振環(huán)除了具有減振、隔音效果外，還有利于越過共振區(qū)，衰減高頻振動和噪音的作用。
(5) 為減少分子泵的振動向外傳遞以及減少外界振動對分子泵的影響，在分子泵的四個支柱下裝有四個橡膠墊以起到隔振作用。
2. 渦輪分子泵的應用特點
(1) 工作壓力范圍寬，在 10-1 ～ 10-8 pa 范圍內具有穩(wěn)定抽速；
(2) 起動時間短，能抽除各種氣體和蒸氣；
(3) 分子泵適用于在要求清潔的高真空和超高真空的儀器及設備上使用。也可用來作為離子泵、升華泵、低溫泵等氣體捕集超高真空泵的前級預抽真空泵使用，這將獲得更低的極限壓力或更清潔的無碳氫化合物的真空環(huán)境。
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